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中瑞祥熱賣勻膠機(jī)的選購巧
瀏覽次數(shù):1142發(fā)布日期:2019-10-08

勻膠機(jī)ZRX-30013是在速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設(shè)備,膜的厚度取決于勻膠機(jī)的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度。

選購巧

從其原理來說,可以看出選購勻膠機(jī)需要注意的幾個細(xì)節(jié)

旋轉(zhuǎn)速度

轉(zhuǎn)速的快慢和控制度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實際轉(zhuǎn)速誤差很大,對于要求 涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實驗數(shù)據(jù)的。產(chǎn)的某些勻膠機(jī)只能提供轉(zhuǎn)速范圍,并不能標(biāo)定實時的轉(zhuǎn)速??诘膭蚰z機(jī)雖然大分能標(biāo)定轉(zhuǎn)速,但是大分轉(zhuǎn)速度沒有際標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)定。

真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)

真空泵定要無油的,壓力標(biāo)定準(zhǔn)確,內(nèi) 的無油真空泵實在不敢恭維。因為何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,會導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生"飛片"的情況,還會讓滴膠液不慎入真空管道系統(tǒng)成堵塞。用過產(chǎn)勻膠機(jī)的客戶常常會關(guān)心怎么清洗的問題,這點許多外的勻膠機(jī)做得不錯,他們有通過聯(lián)動機(jī)制,如果真空吸附力不夠的時候,不會開始旋轉(zhuǎn)。

材質(zhì)的選擇

對于半導(dǎo)體化行業(yè)的應(yīng)用來說,材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵,大分勻膠機(jī)采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì),因為這種材質(zhì)的成本很低,不銹鋼的對于各類化膠液的抗腐蝕性不太好,塑料對于較溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,將會導(dǎo)致旋涂時,時時低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。例如美等型號都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(氟隆,PTFE)材質(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強(qiáng)度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點。

從其原理來說,勻膠機(jī)有以下兩個點。

(1)旋轉(zhuǎn)速度

轉(zhuǎn)速的快慢和控制度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實際轉(zhuǎn)速誤差很大,對于要求 涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實驗數(shù)據(jù)的。目前轉(zhuǎn)速控制方面有際認(rèn)定標(biāo)準(zhǔn),如美NIST標(biāo)準(zhǔn)等。

(2)真空吸附系統(tǒng)

真空泵般采用無油泵,即通常說的干泵,因為何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,會導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生"飛片"的情況,還會讓滴的膠液不慎入真空管道系統(tǒng)成堵塞。有的勻膠機(jī)通過聯(lián)動機(jī)制,當(dāng)真空吸附力不夠時不會開始旋轉(zhuǎn)。這樣可有效避免滴的膠液不慎入真空管道系統(tǒng)。

 

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